Einblicke ins CoLab: SCHUNK ADHESO – Semiconductor Wafer Handling
21.04.2022 · Schunk ·
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Mit dem Adhäsionsgreifer ADHESO von SCHUNK können Semiconductor Wafer energiefrei gegriffen werden. Es wird weder Elektronik noch Vakuum benötigt! Der Greifer macht sich die Van-der-Waals-Kräfte ähnlich wie ein Gecko zu nutze.
In dieser Applikation werden die Wafer mit Hilfe eines Epson Scara Roboters von einer Kassette in die andere gesetzt. Mit einem 6-Achs-Roboter wäre auch die Handhabung mit dem ADHESO in jegliche Bewegungsrichtung möglich.
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