Wie funktioniert das PACVD Verfahren

Die Prozessanordnung ähnelt der des Sputterns, welches häufig in Kombination mit CVD verwendet wird. Beim PACVD-Verfahren wird ein Gas, das Elemente des Schichtmaterials enthält, in die Vakuumkammer geleitet. Danach wird ein Entladungsbogen durch eine Wechselspannung gezündet. Mehr unter: https://www.oerlikon.com/balzers/com/de/portfolio/oberflaechentechnologien/pacvd/